自動ステージ:ZF自動ステージ・アクチュエータ
TSA60-4ZF／FACT15-AL【ZF自動ステージ・アクチュエータ】
TSA60-4ZF 
FACT15-AL
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各製品の図面をPDF形式とDXF形式でご提供しています。 ※DXFファイルはZIP形式で圧縮しております。
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5相ステッピングモータを採用した、小型・軽量・高精度をコンセプトに開発された60mm角テーブル、移動量4mmの自動水平面型Z軸ステージと動量15mmのアクチュエータです。
製品詳細
| 品番 | TSA60-4ZF | FACT15-AL |
| 価 格（税別） | ￥242,000 | ￥125,000 |
| 移動量 | 4mm | 15mm |
| テーブルサイズ | 60mm×60mm | − |
| 5相ステッピングモータ | PMM33BH2-C26 （オリエンタル製）0.75A | TS3664N4E1 （多摩川精機製）0.75A |
| 分解能フルステップ （ハーフステップ） | 1μm（0.5μm） ※注1） | 1μm( 0.5μm) ※注1） |
| ネジ径･リード | Φ6×1 | Φ4×0.5 |
| 送り機構 | 送りネジ・くさび方式 | 送りネジ |
| 移動ガイド | アウタレール構造 | リニアパック |
| 位置決め精度 | − | 30μm |
| 繰り返し位置決め精度 | ±3μm | ±1.5μm |
| バックラッシュ | 5μm | 10μm |
| 耐荷重 | 3kg | − |
| 質量 | 約0.45kg | 約3kg |
| 最大移動速度 | 4mm/sec ※注2） | 5mm/sec ※注2） |
| 本体材質 | アルミ | アルミ |
| 表面処理 | 黒アルマイト | 黒アルマイト |
| リミット/機械原点センサ | EE-SX1103 （オムロン製） | EE-SX1103 （オムロン製） |
| ステージ側コネクタ | HR10A-10R-12P （ヒロセ製） | HR10A-10R-12P （ヒロセ製） |
| 適用コントローラ | 各種コントローラに接続可能です。別途お問合せ下さい。 | |
※注）耐荷重は無荷重での値です。ご使用条件により異なる場合があります。
