製品の特徴
- XYZ軸制御
- ストローク 100 μm/移動
- 中央に貫通穴 Ø10 mm
- 真空に適しています
仕様
| 型番 | P12B.XYZ100S | P12B.XYZ100K | 単位 |
| 動作方向 | X、Y、Z | X、Y、Z | |
| 移動範囲（0〜150 V） | 100/ シャフト | 100/ シャフト | μm±20% |
| センサー | SGS | – | |
| 分解能 | 3 | 1 | nm |
| 貫通穴 | Ø10 | Ø10 | mm |
| 無負荷時共振周波数 | 0.03 | 0.03 | kHz±20% |
| 静電容量 | 3.6/ シャフト | 3.6/ シャフト | μF±10% |
| キャリングキャパシティ | 244 | 244 | g±5% |
| テーブル素材 | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム |
模式図
