P12.XYZは、70×70×24 mmのコンパク トなサイズと最大100 μmのストロークを持つXYZ軸ピエゾ位置決めステージです。 ピエゾ駆動、摩擦のない、柔軟なヒンジガイドシステムにより、このシリーズはナノメートル分解能、ミリ秒応答時間、中心口径Φ35 mmを達成し、顕微鏡や移動における位置決めに適します。
製品特徴
- XYZ方向移動
- ストローク 100 μm/軸
- 荷重 0.5 kg
- 速い応答速度
- クローズドループ位置決めにおける高い再現性
- 真空仕様あり
仕様
| 型番(S閉ループ/K開ループ) | P12.XYZ100S-D3 | P12.XYZ100K-D3 | 単位 |
| 動作方向 | X、Y、Z | X、Y、Z | |
| 移動範囲（0〜120 V） | 80 | 80 | μm±10％ |
| 移動範囲(0～150 V) | 100 | 100 | μm±10％ |
| センサーの種類 | SGS | – | |
| 貫通穴の大きさ | Ø35（Ø25はオプション） | Ø35（Ø25はオプション） | mm |
| 分解能 | 3 | 1 | nm, typ. |
| 閉ループ直線性 | 0.15 | – | %F.S. |
| クローズドループの繰り返し位置決め精度 | 0.1 | – | %F.S. |
| ピッチ/ヨー/ロール | <15 | <15 | μrad |
| 動作方向 プッシュ/プル | 20/4 | 20/4 | N |
| 動作方向の硬さ | 0.2 | 0.2 | N/µm±20% |
| 無負荷共振周波数 | 0.15 | 0.15 | kHz±20% |
| 無負荷ステップ時間 | 30 | 0.8 | ms±20% |
| 閉ループ動作周波数 (-3 dB) | – | – | Hz±20% |
| 耐荷重 | 0.5 | 0.5 | Kg |
| 静電容量 | 1.8 | 1.8 | μF/軸±20% |
| 動作温度範囲 | -20～80 | -20～80 | °C |
| 素材 | スチール、アルミニウム | スチール、アルミニウム | |
| 外形寸法（長さ×幅×高さ） | 70×70×24 | 70×70×24 | mm |
| 重量 | 300 | 300 | g±5% |
| 送信回線長 | 1.5 | 1.5 | m±10 mm |
| センシング/ボルテージコネクタ*** | LEMO | LEMO |
** 低温仕様、高真空仕様のカスタマイズも可能です。
*** 顕微鏡アダプターに依存します。
**** コネクタはカスタマイズ可能です。
注1: 上記のパラメータは、試験環境および試験装置に関するものです。位置決めテーブルの表面の平行度は約20 μm、粗さは約1.6～3.2、特別な要件は購入前に確認してください。
注2: 上記のパラメータはE00/E01シリーズピエゾコントローラを使用して測定したもので、駆動電圧は-20 V～150 Vの範囲で使用できます。高い信頼性と長期的な使用のために、駆動電圧は0～120 Vの範囲にすることをお勧めします。
模式図
